工具顯微鏡 STM-3020M
工具顯微鏡STM-3020M系列特點：
? 底座——鑄鐵基座保證整體穩(wěn)定性。
? 光源——高亮度長壽命LED照明系統(tǒng)。
? 傳動——采用無間隙絲杠傳動載物臺，保證測量精度。
? 導(dǎo)軌——采用德國線形高精度導(dǎo)軌。
? 調(diào)焦——特有粗、微調(diào)焦裝置，微調(diào)每格1um。
? 載物臺——高精度2.0+L/200um(L為測量長度）。
技術(shù)參數(shù)：
名稱
工具顯微鏡
工具顯微鏡
型號
STM-2015M
STM-3020M
貨號#
532-180
532-190
X ,Y軸坐標(biāo)行程
200x150mm
300x200mm
分辨率
0.1um
鎖緊裝置
X-Y采用精密絲杠傳動，工作臺帶快慢速鎖緊裝置，無回程誤差產(chǎn)生
X/Y軸精度
(2+L/200) μm; L: 測量長度
鏡筒
反像 (可選正像三目鏡筒)
目鏡
雙目廣角目鏡WF10X/22mm
物鏡
標(biāo)配:5X,10X, 20X, 50X ; 可選: 100X
透射光源
可調(diào)LED光源
表面光源
可調(diào)LED光源
Z-軸行程
標(biāo)配行程:150mm, 可選200mm行程
調(diào)焦方式
手動調(diào)焦 (粗調(diào)/微調(diào))
數(shù)顯表功能
清零, 方向置換
儀器電源
AC220/50HZ; AC110V/60Hz
可選附件
高精度旋轉(zhuǎn)工作臺 RT4(D:165mm), RT5(262mm)
數(shù)據(jù)處理器DP300
測量軟件 QM2.0
0.5X適配鏡和CCD相機
光學(xué)參數(shù)：
名稱
物鏡
目鏡WF10/22
數(shù)值孔徑
N.A.
有效工作距離
W.D.(mm)
焦距
f(mm)’
分辨率
R(um)
景深
±△p(um)
總放大倍數(shù)
物方視場
（mm）
5x
0.15
11.6
40
2.1
16.3
50x
￠4.4
10x
0.3
6.3
20
0.9
3.1
100x
￠2.2
20x
0.4
10.3
10
0.69
1.8
200x
￠1.1
50x
0.8
2
4
0.34
0.4
500x
￠0.44
100x
0.8
1.96
2
0.34
0.2
100x
￠0.22
CCD芯片
晶源觀察
POG觀察
IC封裝
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